在产业一线逐梦！上大学子在产教融合中学真知、长本领

 这个暑期，上海大学微电子学院的十余位研究生在上海微技术工业研究院“超越摩尔”8英寸线实习，在产业一线的实践中发现问题、解决问题，收获新理论、新认识、新技能，提升科研水平和专业本领。

上海大学微电子学院自2019年11月成立以来，就致力于与产业结合，依托上海微技术工业研究院国内首条8英寸MEMS中试线，建立契合产业需求的“四个一”培养模式（即：一次芯片设计、一次工艺流片、一次封装测试、一个创新项目），提升学生工程实践能力，打造集成电路高质量人才培养基地。

上海微技术工业研究院首席技术官、上海大学微电子学院院长古元冬表示，“芯片制造是中国大陆集成电路产业的短板，我们学院要通过产教融合，培养一大批‘来之能战’的制造工艺人才。”为强化学生的专业能力培养，2021年6月，上海微技术工研院将“超越摩尔”8英寸研发中试线每年四分之一的总机时资助给上海大学，用于微电子学院教学实践，为期5年。

“超越摩尔”8英寸研发中试线是国内首条、国际领先的微机电系统（MEMS）中试线，一年的运营费近1亿元，上海微技术工业研究院相当于每年投入价值2000多万元的机时，用于微电子学院本科生和研究生的培养。

2021年暑期，微电子学院选拔了十余名研究生，每周5天在上海微技术工业研究院的“超越摩尔”8英寸中试线实习，学习集成电路制造工艺，并在导师指导下参与创新项目。博士研究生杨继业在实习中感慨道：“我的硕士是在德国德累斯顿工业大学读的，德国大学非常重视产教融合，但我觉得我们学院的产教融合程度超过了德国大学。”

不经风雨，长不成大树；不到一线，触摸不到“工艺的真谛”。微电子学院硕士研究生季宇成所在小组的5位同学每天都会穿着无尘服在洁净室里实习，在8英寸线的机台前操作设备。实习期间，每天都有客户送来的需要做定制化工艺研发的片子，这也让研究生们更加近距离接触到产业界，同学们在工研院的工艺工程师团队的带领下，积极学习工艺技能，提高自主研发的能力。

通过实习，同学们不仅对8英寸线的黄光区、薄膜区、刻蚀区、扩散区等四大区域有所了解，也跟着研究人员学习每个区域的设备、工艺流程及其原理。

在完成各个区域的初步学习后，同学们会结合研究方向选择一个领域进行深入研究。季宇成选择的是位于黄光区的晶圆级键合工艺研究，他说，“我们会在这里待到毕业，这样不仅完成了硕士学业，还相当于有了两年的一线实战经验。”通过不间断的学习，季宇成已对8英寸线的黄光区、薄膜区、刻蚀区、扩散区等四大区域有了一定了解，跟着师傅学习每个区域的设备、工艺流程及其原理。作为研究生联聘导师的8英寸线副总经理王诗男博士，要求季宇成等同学每天晚上写学习日志。无论工作多么忙，导师都会看这些日志并给出指导意见。

为支持研究生参与创新项目，在上海微技术工业研究院的大力支持下，微电子学院的研究生在产业一线孜孜以求，凭着一股子韧劲在研发的道路上快速成长。

博士研究生杨继业已在8英寸线工作一年，负责制备氮化铝薄膜，将这种材料沉积到晶圆上后，可制造声学传感器、5G射频芯片等器件。制备出高性能的氮化铝薄膜，是导师古元冬教授交给杨继业的任务。经过一年摸索，杨继业取得了研发上的突破。而突破的背后，离不开工研院的大力投入。

杨继业谈到，“我在德国读硕士的3年间，导师总共给我8片晶圆来研究工艺，一片晶圆的成本是500—600元，而工研院一次性就给了我25片晶圆。另外为了研发高质量氮化铝薄膜的生长工艺，我已用掉200多片晶圆，终于找到了比较好的工艺窗口。”杨继业颇有成就感地说，“工研院的传感器设计专家告诉我，沉积氮化铝薄膜和电极的晶圆质量很高，做出来的声学传感器性能很好。”制备出单层氮化铝薄膜后，杨继业打算研发双层氮化铝材料和5G射频芯片，为产业界提供高质量的集成电路材料和器件。

“吾心信其可行，则移山填海之难，终有成功之日；吾心信其不可行，则反掌折枝之易，亦无收效之期也。”同学们必将珍惜韶华，奋勇拼搏，在产业一线海阔天空的想，脚踏实地的干，努力使自己成为破解集成电路“卡脖子”问题、推动集成电路领域源头创新的奋进者、开拓者、奉献者，为实现中国梦贡献智慧和力量。

来源：上观新闻

上海微技术工业研究院、上海大学微电子学院